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半導體行業產品清洗用超純水設備

半導體設備1.jpg

概述
    在設備設計上,采用成熟、可靠、先進、自動化程度高的兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的超純水出水水質電阻率達到18.2 MΩ.cm。關鍵設備及材料均采用國際主流先進可靠產品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統自動化程度高,系統穩定性高。大大節省人力成本和維護成本,水利用率高,運行可靠,經濟合理。使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。我們公司專業生產RO+EDI+精混床超純水設備,有多年的生產經驗,尤其在電控系統PLC方面在水處理行業技術都是比較成熟,我們也有做過很多各行業的水處理設備,這方面我們有豐富的經驗。我們公司做出來的設備質量比他們都有優勢,在國內具有一定的市場竟爭力。該產品由于具備性能好、價格低于國外同類產品價格、供貨及時、售后服務方便快捷等諸多優勢。在太陽能光伏電池、LED、LCD、顯像管、液晶顯示器、半導體、光電光學企業的脫鹽水和超純水裝置,得到了業界的廣泛贊譽,歡迎廣大客戶前來參觀考察。半導體行業,其熒光屏內壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質,是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒光粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成,其配制需用超純水,如純水中含銅在8ppb以上,就會引起發光變色;含鐵在50ppb以上就會使發光變色、變暗、閃光跳躍;含有機物膠體、微粒、細菌等,就會降低熒光層強度及其與玻殼的粘附力,并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產的12個工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水,每生產一個顯像管需用純水80kg[1]。液晶顯示器的屏面需用純水清洗和用純水配液,如純水中存在著金屬離子、微生物、微粒等雜質,就會使液晶顯示電路發生故障,影響液晶屏質量,導致廢、次品。顯像管、液晶顯示器生產對純水水質的要求。
 

半導體設備2.jpg

半導體行業用超純水水質標準:
    我公司半導體行業用超純水出水水質完全符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。
半導體行業用超純水設備對水質的要求:
    新興的光電材料生產、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。
半導體行業超純水設備應用場合:
☆電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗
☆電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆顯像管和陰極射線管生產、配料用純水
☆黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水
☆液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制
☆ 集成電路生產中高純水清洗硅片
☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆高品質顯像管、螢光粉生產
☆半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗
☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料
☆實驗室和中試車間
☆汽車、家電表面拋光處理
☆光電產品、其他高科技精微產品
半導體行業用超純水制備工(gong)藝流程圖(tu):

半導體工藝流程.png

設備優點
    為(wei)滿足用戶(hu)需(xu)要(yao),達到符合標準的(de)(de)水(shui)質,盡(jin)可能地減少各(ge)級(ji)的(de)(de)污染,延長設(she)(she)備的(de)(de)使用壽命(ming)、降低操作(zuo)(zuo)人(ren)員的(de)(de)維護(hu)工作(zuo)(zuo)量(liang).在工藝設(she)(she)計(ji)上,取達國(guo)家(jia)自來水(shui)標準的(de)(de)水(shui)為(wei)源水(shui),再設(she)(she)有(you)(you)介質過濾器,活性(xing)(xing)碳過濾器,鈉(na)離子(zi)(zi)軟(ruan)化器、精密過濾器等(deng)預處理(li)系(xi)統、RO反滲透主(zhu)機系(xi)統、離子(zi)(zi)交換混床(EDI電(dian)除鹽系(xi)統)系(xi)統等(deng)。系(xi)統中水(shui)箱均(jun)設(she)(she)有(you)(you)液位控制(zhi)系(xi)統、水(shui)泵均(jun)設(she)(she)有(you)(you)壓力保護(hu)裝置、在線水(shui)質檢測控制(zhi)儀表、電(dian)氣采(cai)(cai)用PLC可編(bian)程控制(zhi)器,真(zhen)正做到了無(wu)人(ren)職守(shou),同時(shi)在工藝選材上采(cai)(cai)用推薦和客戶(hu)要(yao)求相統一的(de)(de)方(fang)法,使設(she)(she)備與其它同類產(chan)品(pin)相比較(jiao),具有(you)(you)更(geng)高的(de)(de)性(xing)(xing)價(jia)比和設(she)(she)備可靠(kao)性(xing)(xing)。

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